#知识抽取

从科学文献中挖掘：材料科学原子层沉积与刻蚀的流程模式

针对原子层沉积（ALD）与原子层刻蚀（ALE）文献报告方式异构、难以比较和机器复用的问题，研究提出四套经领域专家评审的JSON Schema，覆盖实验与仿真流程。Schema基于QUDT语义基础，结构化材料、工艺条件、配置与结果，并演示了模式引导的文献抽取与ORKG结构化记录发布。