从科学文献中挖掘：材料科学原子层沉积与刻蚀的流程模式
原文标题：Mined from Scientific Literature: Process Schemas for Atomic Layer Deposition and Etching in Materials Science
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针对原子层沉积（ALD）与原子层刻蚀（ALE）文献报告方式异构、难以比较和机器复用的问题，研究提出四套经领域专家评审的JSON Schema，覆盖实验与仿真流程。Schema基于QUDT语义基础，结构化材料、工艺条件、配置与结果，并演示了模式引导的文献抽取与ORKG结构化记录发布。
- 问题
- ALD/ALE 文献报告格式异构，难以比较和机器复用。
- 方法
- 提出四套专家评审的 JSON Schema，基于 QUDT 语义结构化实验与仿真流程。
- 结果
- 未给出量化结果
- 影响
- 为材料工艺数据提供可复用的结构化模板，便于文献抽取与知识库对接。
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